產品介紹

晶圓專用顯微鏡  MQK6BD
特色:可做明暗視野及偏光設備觀察
鏡筒:三眼式觀察頭
目鏡:超廣角高眼點目鏡 WF10X/22 
綜合倍率 50x~500x
LMPLAN BD DIC無限遠明暗場物鏡:
 5X NA=0.15 BD DIC WD:9mm
10X NA=0.30 BD DIC WD:9mm
20X NA=0.45 BD DIC WD:3.4mm
LMPlanFL BD 50X BD NA=0.55 WD:7.5mm
第三目C-MOUNT(0.5X)
移動行程:158/158mm 
載物台尺寸 195X195mm
光源:上光源12V100W豆燈鹵素燈落射光、
        下光源5W LED 可調光 
配件:起偏鏡、檢偏鏡、LBD藍色濾色片。
特色:無限遠光路系統、快推式移動載物台。
電    源:90V~240V
本機僅預留DIC設備插槽,無DIC功能,DIC片需另外加購。
可選配: 影像設備CCD / 量測軟體 / DIC

適用產業
半導體相關產業
IP設計及IC設計，製造
晶圓製造業/晶圓檢查
IC封裝測試
IC模組相關製程檢測
晶粒分析/探針量測
玻璃面板檢查/探針卡檢驗
陶瓷基板/薄膜製程檢測